具有高空间分辨力的位相型光瞳滤波式差动共焦测量法

• 作者: 沙定国 赵维谦 邱丽荣
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 超分辨 共焦 光瞳滤波器 位相型光瞳
• 年，卷（期）: 2006,（z1）
• 所属期刊栏目: 几何量计量基础理论研究和现代精密测试技术
• 页码范围: 118-122
• 页数: 5页
• 分类号: TB92
• 字数: 3198字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-1158.2006.z1.030

摘要

提出一种新的改善光触针类测量传感器空间分辨力的位相型差动共焦测量方法.该方法通过具有横向超分辨能力的位相型光瞳滤波器最大程度地改善共焦测量系统的横向分辨力,通过差动共焦测量法改善共焦测量系统的轴向分辨力,最终提高共焦测量系统空间分辨能力.理论分析和实验表明,当入射激光束波长λ=632.8 nm、测量物镜数值孔径NA=0.85、uM=4时,该方法的横向分辨力优于0.2μm,轴向分辨力优于2 nm.该方法可用于表面微观轮廓及微小尺度的超精密测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵维谦	哈尔滨工业大学自动化测试与控制工程系	17	254	8.0	15.0
2	邱丽荣	北京理工大学信息科学技术学院	42	160	7.0	11.0
3	沙定国	北京理工大学信息科学技术学院	57	705	15.0	25.0