具有聚酰亚胺绝热层的新型非制冷红外探测器

• 作者: 刘兴明 刘理天 韩琳
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 聚酰亚胺 测辐射热计 绝热结构
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 光微纳器件
• 页码范围: 1725-1727,1730
• 页数: 4页
• 分类号: TN2
• 字数: 2770字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.109

摘要

提出了一种基于聚酰亚胺绝热层的新型非制冷红外探测器结构.该结构具有工艺简单、成本低廉、成品率高等优点.利用底部反射金属层可以提高红外吸收率;底层金属和有源层间的隔离层不仅可以减小器件热导,还可以和上层材料层构成三明治红外吸收结构,进一步改善红外吸收效果.对制备工艺进行了简单介绍,器件性能测试结果表明,该新结构探测器虽然和空腔结构探测器的探测率相当,但在工艺制备及成品率方面要优异得多.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘理天	清华大学微电子学研究所	230	1519	19.0	23.0
2	韩琳	清华大学微电子学研究所	8	66	5.0	8.0
3	刘兴明	清华大学微电子学研究所	8	66	5.0	8.0