利用金相显微镜焦平面测量微米级膜层厚度

• 作者: 唐杰 孙亚丽 左由兵 金永中
• 来源期刊: 四川理工学院学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 测厚 金相显微镜 膜层
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 页码范围: 108-110
• 页数: 3页
• 分类号: TH742.4
• 字数: 2464字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-1549.2006.02.028

摘要

介绍了一种利用金相显微镜聚焦面测量各种涂/镀层厚度的方法.将实验样品的覆膜面打磨成斜面后平放在金相显微镜样品台上,分别对膜层的两个界面对焦,从对焦旋钮上读出两焦面的高度差即为膜层的厚度.本方法可用于各种微米量级的单一膜层和多层复合膜的测厚,在测厚的同时可以观察和分析膜层的显微结构.尤其适用于各种涂/镀膜实验样品的研究分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金永中	四川理工学院材料与化学工程系	89	417	11.0	16.0
2	孙亚丽	四川理工学院材料与化学工程系	37	196	9.0	11.0
3	左由兵	四川理工学院材料与化学工程系	15	59	4.0	7.0
4	唐杰	四川理工学院材料与化学工程系	18	41	4.0	6.0