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高质量审计需要高素质审计人才
高质量审计
高素质人才
全面
有效
用于分布反馈光栅的纳米压印模板制作
纳米压印
压印模板
分布反馈光栅
浅谈高质量专利
高质量
专利
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内容分析
关键词云
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文献信息
篇名 纳米压印模板需要高质量的检测技术
来源期刊 集成电路应用 学科 工学
关键词
年,卷(期) 2006,(3) 所属期刊栏目 光刻
研究方向 页码范围 13
页数 1页 分类号 TN4
字数 1388字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1674-2583.2006.03.009
五维指标
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
集成电路应用
月刊
1674-2583
31-1325/TN
16开
上海宜山路810号
1984
chi
出版文献量(篇)
4823
总下载数(次)
15
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