光学自由曲面误差评定中匹配方法的研究

• 作者: 姚英学 孔令豹 杜建军 高栋
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光学自由曲面 曲面匹配 五点预定位 二次优化
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 133-138
• 页数: 6页
• 分类号: TQ171.65
• 字数: 2929字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2006.01.023

摘要

研究了光学自由曲面轮廓误差评定中被测曲面和设计曲面的匹配方法.在曲面中心重合和近似法矢重合的基础上,提出了五点预定位法,即先定义曲面中心,然后利用搜索的方法得到相互间距离最大的4个角点,通过这5个点的匹配实现曲面的预定位.在精调整中,提出了二次优化方法,即综合运用最小二乘法和最小条件原则进行曲面的高精度匹配,并进行了仿真实验.实验结果表明,匹配精度可达纳米级.最后通过一个非球面实测实验,证明了算法的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高栋	哈尔滨工业大学深圳研究生院	16	205	8.0	14.0
2	姚英学	哈尔滨工业大学深圳研究生院	136	2556	28.0	41.0
3	杜建军	哈尔滨工业大学深圳研究生院	28	472	13.0	21.0
4	孔令豹	哈尔滨工业大学深圳研究生院	2	53	2.0	2.0