偏压对CrTiAlN镀层组织形貌及磨损性能的影响

• 作者: 张国君 白力静 蒋百灵
• 来源期刊: 材料热处理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 偏压 CrTiAlN镀层 形貌 相 磨损性能
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 表面改性
• 页码范围: 100-103
• 页数: 4页
• 分类号: TG174.44
• 字数: 2659字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-6264.2006.05.024

摘要

利用闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术制备了耐磨CrTiAlN镀层,分析了溅射偏压对该镀层的形貌、相结构以及磨损性能的影响.研究表明:偏压对镀层的形貌、相结构以及与摩擦学性能有关的摩擦系数、硬度、结合力以及磨损率等参数都有影响.在制备CrTiAlN镀层的过程中,当偏压为-75V时镀层的耐磨损性最好,当偏压在-65V--85V变化时,镀层形貌的变化对镀层的磨损性能无明显影响,CrTiAlN镀层相结构的变化是影响磨损性能的主要原因.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋百灵	西安理工大学材料学院	241	5240	40.0	64.0
2	白力静	西安交通大学材料学院	55	796	14.0	27.0
4	张国君	西安理工大学材料学院	35	220	8.0	14.0