新型硅微机械谐振器的设计

• 作者: 彭志萍 梁帆 樊尚春
• 来源期刊: 沈阳航空工业学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 谐振器 梳齿 静电激励 有限元
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 电信工程
• 页码范围: 78-80
• 页数: 3页
• 分类号: TN713+.2
• 字数: 2047字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-1248.2006.05.024

摘要

从理论上分析谐振器的静电制动特性和机械力学特性,给出了活动梳齿的谐振频率和谐振振幅的解析解,提供谐振器结构设计的依据.设计了四种结构形式的谐振器,充分考虑不同静电激励方式对谐振器的影响,合理选取结构参数,有效提高了谐振器抑制侧向失稳和粘附效应的能力.借助有限元软件在考虑硅微加工特性和可行性的基础上对谐振器模态和固有频率的仿真和计算,优化了谐振器结构参数,使工作模态远离其他高阶模态,具有良好的频率特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	樊尚春	北京航空航天大学精密仪器与光电工程学院	161	841	15.0	21.0
2	梁帆	北京航空航天大学精密仪器与光电工程学院	7	31	4.0	5.0
3	彭志萍	北京航空航天大学精密仪器与光电工程学院	2	4	1.0	2.0