Si-MCP连续打拿极的制备

• 作者: 吴奎 姜德龙 桑卫兵 王国政 薄春卫 郭艳玲
• 来源期刊: 长春理工大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 先进技术微通道板 连续打拿极 LPCVD
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 页码范围: 86-88
• 页数: 3页
• 分类号: TN304
• 字数: 1931字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-9870.2006.01.025

摘要

本文阐述了MCP连续打拿极传统的制备方法,并提出采用半导体技术制备Si-MCP连续打拿极的新途径,通过对比进一步总结出采用新方法制备MCP连续打拿极的优越性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姜德龙	长春理工大学理学院	25	153	6.0	10.0
2	王国政	长春理工大学理学院	51	208	8.0	11.0
3	吴奎	长春理工大学理学院	16	102	5.0	9.0
4	郭艳玲	长春理工大学理学院	1	3	1.0	1.0
5	薄春卫	长春理工大学理学院	1	3	1.0	1.0
6	桑卫兵	长春理工大学理学院	1	3	1.0	1.0