大口径高次、离轴非球面干涉测量中投影畸变的标定方法

• 作者: 张学军 李锐钢 薛栋林 郑立功
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 非球面检验 干涉术 Fiducial功能 投影畸变 干涉图重构 标定
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 533-538
• 页数: 6页
• 分类号: TQ171.65|O436.1
• 字数: 3716字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2006.04.002

摘要

提出了运用干涉仪的Fiducial功能确定干涉仪CCD的测量坐标系与非球面镜面坐标系的对应关系,然后对两者关系进行正交化拟合,从而标定出非球面干涉检验中的投影畸变,并用于某高次、离轴非球面进行干涉检验中的投影畸变标定,拟合精度为1.964 53μm.根据标定结果对干涉测量面形图重构,进行了数控抛光实验,最终面形精度达到均方根值λ/20(λ=0.632 8 μm),证明拟合精度完全满足数控抛光的要求.