基于弹性体模型的微机械陀螺检测电容解析方法

• 作者: 姜涛 张颖 焦继伟 王安麟
• 来源期刊: 宇航学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械陀螺 多自由度 检测电容 质量分布 数学模型
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 426-432
• 页数: 7页
• 分类号: TP212
• 字数: 4078字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-1328.2006.03.020

摘要

以体微机械加工技术制备的音叉式振动型微机械陀螺为研究对象,以提高其检测电容的解析精度为目的,利用多自由度动态有限元解析理论,首次提出了基于弹性体模型的检测电容解析法.实现了考虑制备工艺、加工手段等引起的微陀螺结构缺陷造成的性能、品质变异仿真,以及面向微陀螺最终输出性能--检测电容的动力学特性与检测特性的分析.此方法基本解决了刚体结构微机械陀螺简化模型的低精度缺陷问题,为实现其多物理场工作环境的表征、结构拓扑形态的设计、复杂动态性能的仿真等工程化目标提供了可能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张颖	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	146	1418	19.0	31.0
2	王安麟	同济大学机械工程学院	114	583	12.0	16.0
3	焦继伟	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	24	143	7.0	10.0
4	姜涛	上海交通大学机械与动力工程学院	23	289	9.0	16.0