低压金属有机化学气相外延生长室热流场的模拟与分析

• 作者: 任晓敏 任爱光 熊德平 王琦 黄永清 黄辉
• 来源期刊: 材料科学与工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 有机金属化学气相外延 Simple算法 旋转垂直腔
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 662-665
• 页数: 4页
• 分类号: TE123
• 字数: 3685字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-2812.2006.05.007

摘要

本文运用了有限体积方法模拟了低压有机金属化学气相外延生长室的二维流场和热场的分布情况,分析了生长室内压力和基座转速对于流场和热场影响,指出了低压金属有机化学气相外延的优点所在.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄永清	北京邮电大学光通信与光波导教育部重点实验室	196	987	13.0	18.0
2	任晓敏	北京邮电大学光通信与光波导教育部重点实验室	189	942	13.0	18.0
3	黄辉	北京邮电大学光通信与光波导教育部重点实验室	59	282	10.0	12.0
4	王琦	北京邮电大学继续教育学院	82	480	13.0	19.0
5	熊德平	北京邮电大学光通信与光波导教育部重点实验室	5	8	2.0	2.0
6	任爱光	北京邮电大学光通信与光波导教育部重点实验室	4	13	3.0	3.0