超精密工作台自标定不确定度定量评价

• 作者: 尹文生 朱煜 朱立伟
• 来源期刊: 清华大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 超精密工作台 自标定 定量评价 Monte Carlo模拟
• 年，卷（期）: 2006,（8）
• 所属期刊栏目: 精密仪器与机械学
• 页码范围: 1384-1387
• 页数: 4页
• 分类号: TH161+.5
• 字数: 3023字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-0054.2006.08.012

摘要

为评价超精密工作台自标定过程中由随机测量误差引起的标定不确定度,提出了基于Monte Carlo模拟的自标定不确定度定量评价方法.该方法以自标定算法的最大不确定度放大倍数为评价指标,通过根据算法输入参数联合概率密度函数的大量随机抽样,以及对算法输出样本的统计来完成.仿真表明: 该方法具有较好的通用性及可靠性,可在自标定方案设计阶段,有效地评价所使用算法的合理性,这对于超精密工作台自标定算法的设计及选择具有指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	尹文生	清华大学精密仪器与机械学系	39	623	12.0	24.0
2	朱煜	清华大学精密仪器与机械学系	99	1312	17.0	33.0
3	朱立伟	清华大学精密仪器与机械学系	4	37	4.0	4.0