MRI微型RF接收线圈的设计与制作

• 作者: 吴英 周兆英 江刺正喜 江永清 田中小野
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 微型RF接收线圈 核磁共振成像传感器 高深宽比 微机电系统
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 材料、结构及工艺
• 页码范围: 556-559
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 2237字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2006.05.013

摘要

基于MEMS深刻蚀技术和微电镀工艺,介绍了一种用于核磁共振成像(MRI)系统的微型射频(RF)接收线圈的设计与微加工制作方法,研制出了线圈内径为100 μm,线圈厚度200 μm,线圈宽度30 μm,深宽比大于6,品质因数为4的微型金属螺旋线圈.实验结果表明,该制作工艺可为高深宽比的金属微结构的研制和核磁共振成像系统微型化提供新的方法和支持.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴英		25	127	6.0	10.0
5	江永清		15	62	5.0	7.0