电容式微加速度计的闭环检测技术研究

• 作者: 吴学忠 李圣怡 肖定邦
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微加速度计 MEMS 闭环检测 调制解调
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 页码范围: 1097-1099,1156
• 页数: 4页
• 分类号: TM938.81
• 字数: 1760字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.04.042

摘要

针对分立元件电路噪声与干扰大的特点,设计了基于调制解调方法的微加速度计闭环检测系统,详细介绍了该闭环检测系统的原理框图及实现方法,讨论了该闭环检测系统的数学模型,并且利用精密转台对该微加速度计的性能进行了测试,测试结果表明,该微加速度计测量线性度为2.5%,量程为±1g,刻度因子为3V/g.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴学忠	国防科技大学机电工程与自动化学院	70	934	18.0	28.0
2	李圣怡	国防科技大学机电工程与自动化学院	186	3101	27.0	44.0
3	肖定邦	国防科技大学机电工程与自动化学院	28	149	8.0	11.0