一种高效率低成本制作微透镜阵列的方法

• 作者: 刘胜 张鸿海 甘志银 范细秋
• 来源期刊: 机械科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 热压印 微透镜阵列 衍射效率
• 年，卷（期）: 2006,（9）
• 页码范围: 1053-1055,1104
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 2601字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1003-8728.2006.09.013

摘要

通常采用的多次掩模光刻和离子束刻蚀制作微透镜阵列的方法不但制作效率低,而且易产生较大的制作误差.提出了一种在硅基底聚合物薄膜上热压制作微透镜阵列的工艺方法,并利用自制的热压印设备进行了热压制作衍射微透镜阵列的试验,讨论了影响压印精度的温度和压力等工艺参数,对压印的衍射微透镜阵列进行了轮廓测试和部分光学性能测试.测试结果表明,压印制作微透镜阵列的复形误差小于10%,衍射效率高于90%,为高效率低成本制作微透镜阵列提供了一种新的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	范细秋	浙江海洋学院机电工程学院	14	480	5.0	14.0
2	张鸿海	华中科技大学机械科学与工程学院	68	430	11.0	16.0
3	甘志银	华中科技大学机械科学与工程学院	35	246	9.0	13.0
4	刘胜	华中科技大学机械科学与工程学院	75	815	15.0	25.0