高g值微冲击开关

• 作者: 陈光炎
• 来源期刊: 中国工程物理研究院科技年报
• 学科: 工学
• 关键词: 开关信号 微冲 高G值 冲击加速度 微机电系统 惯性器件 设计制作 敏感元件
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 页码范围: 268
• 页数: 1页
• 分类号: TP274

摘要

冲击开关是感受冲击加速度并输出开关信号的一类惯性器件。采用微机电系统（MEMS）技术设计制作了一种微冲击开关，其敏感元件由悬臂梁支撑的质量块和其下的触点构成，如图1所示。在冲击加速度作用下，质量块与触点碰撞实现开关接通。开关芯片体积为5mm×5mm×0．5mm，动作门限3000g，响应时间84μs，能承受100000g高冲击而不破坏。