飞秒激光对高反膜的破坏及其超快动力学过程

• 作者: 冯东海 孙海轶 徐世珍 徐至展 李成斌 李晓溪 王晓峰 贾天卿
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜光学 45°高反膜 超快动力学 飞秒激光 烧蚀阈值 烧蚀深度
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 458-462
• 页数: 5页
• 分类号: O437.5
• 字数: 2545字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-2239.2006.03.026

摘要

研究了800 nm飞秒激光照射下45°高反膜ZrO2-SiO2的破坏及其超快动力学过程.利用原子力显微镜和扫描电镜观察了材料的烧蚀形貌,测量了破坏阈值与脉冲宽度、烧蚀深度与脉冲能量的依赖关系.随着脉冲宽度从50 fs增加到900 fs,其烧蚀阈值从0.35 J/cm2增加到1.78 J/cm2.烧蚀深度与激光能流密度近似成对数关系.当激光强度略高于烧蚀阈值时,材料很快被烧蚀到几百纳米,烧蚀深度表现出明显的层状特性.同时,利用建立的抽运-探针实验系统,测量了高强度抽运脉冲作用下材料对探针光的反射率随延迟时间的变化,揭示了薄膜烧蚀的超快动力学过程.实验结果表明高反膜表层的材料对烧蚀特性有重要影响.