飞秒脉冲烧蚀单晶硅的超快动力学

• 作者: 任欢 刘浩 周强 王俊波 邱荣 马平
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 飞秒激光 时间分辨阴影图 烧蚀 冲击波
• 年，卷（期）: 2012,（12）
• 所属期刊栏目: 高功率激光与光学
• 页码范围: 2787-2790
• 页数: 4页
• 分类号: O434.14
• 字数: 2587字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20122412.2787

摘要

利用基于Pump-probe系统的超快时间分辨阴影图的方法,研究了空气中飞秒激光烧蚀单晶硅的动力学过程.实验采用脉宽为50 fs、平均能量密度约35 J/cm2的单脉冲激光烧蚀单晶硅,获取飞秒激光烧蚀单晶硅过程中等离子体和冲击波的形成和发展过程的时间分辨阴影图.实验结果表明:飞秒激光烧蚀单晶硅导致其表面物质喷发的过程是不连续的,分为明显的两次喷发过程.这表明飞秒激光与单晶硅作用的过程中,在不同的时间段可能由不同的机制主导,在前期可能是多光子电离为主,在后期可能是由多光子效应和雪崩效应共同作用.研究还发现,延迟时间较长时,冲击波形状发生畸变.