基于SOI技术梁膜结合高过载压阻式加速度计研究

• 作者: 蒋庄德 赵玉龙 赵立波
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 梁膜结合 SOI技术 压阻式 高过载 加速度计
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 惯性微纳器件与技术
• 页码范围: 2171-2173,2176
• 页数: 4页
• 分类号: TH82
• 字数: 2192字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.227

摘要

采用微型机械电子系统技术和集成电路工艺制作出了SOI技术高灵敏度的硅微固态压阻平膜芯片;通过动力学分析和有限元模拟,研制出了具有高过载保护功能的加速度传感器结构;通过玻璃粉烧结工艺将其键合在弹性梁的应力集中处,研制出量程为±2000 g、过载能力为30倍满量程的高过载梁膜结合压阻式加速度计.加速度计具有较高的测量灵敏度和精度,满量程输出为126.97 mV/2V,静态精度为0.86%FS.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋庄德	西安交通大学机械工程学院	165	1512	18.0	28.0
2	赵玉龙	西安交通大学机械工程学院	81	540	14.0	19.0
3	赵立波	西安交通大学机械工程学院	23	103	7.0	9.0