对径测量传感器的激光校准方法

• 作者: 仲思东 余学锋 王涛
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 仪器 传感器 校准 激光干涉仪 差动光路
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 测量技术
• 页码范围: 261-265
• 页数: 5页
• 分类号: TP212|TN249
• 字数: 1855字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2006.02.024

摘要

对对径测量传感器的校准方法进行分析和研究,指出了当前手工校准方法存在的弊端和精度低的原因.提出了采用激光干涉仪进行对径测量传感器校准的新构想,实现了被测量到光程差的转化,设计了相应的差动校准测量光路,有效地消除了阿贝误差的影响,校准精度从原来的2.0 μm提高到0.14 μm,同时可得到被测传感器完整的校准曲线,实现了对径测量传感器的高精度、连续化、全自动校准.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	仲思东	武汉大学电子信息学院	56	453	13.0	19.0