光学元件装校应力控制技术

• 作者: 刘青安 唐灿 熊召 程晓峰 袁晓东
• 来源期刊: 中国工程物理研究院科技年报
• 学科: 工学
• 关键词: 应力控制技术 光学元件 装校 ANSYS软件 面形误差 模拟实验平台 关系模型 安装过程
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 页码范围: 294-295
• 页数: 2页
• 分类号: TH74

摘要

应力控制技术的目的是研究大口径元件装校和安装过程中引入的应力对面形的影响以及相应的控制方法，实现应力控制装校，尽可能校正上述3种原因造成的面形误差。利用Ansys软件建立反射镜和晶体的装校应力与面形关系模型，建立模拟实验平台，验证理论模型，寻找最优化的装校方案，形成应力控制装校技术的工艺指导文件。