Schwarzschild物镜装卡应力对光学元件面形的影响

• 作者: 伊圣振 朱京涛 王占山 王新 王玲 穆宝忠
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: Schwarzschild物镜 有限元 面形误差 应力
• 年，卷（期）: 2013,（10）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 2599-2603
• 页数: 5页
• 分类号: O434.1
• 字数: 3423字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20132510.2599

摘要

为了实现接近衍射极限的分辨率,工作在极紫外波段的Schwarzschild物镜要求其光学元件的面形精度达到约1 nm(RMS值)；而在物镜的装配过程中,装卡产生的应力会影响光学元件的面形精度,定量计算装卡应力对元件面形的影响是获得高分辨率成像的关键.在光学设计、公差分析的基础上,采用有限元模型系统地分析了应力对Schwarzschild物镜光学元件面形精度的影响.结果表明:采用自行设计的物镜结构,应力对主镜面形的影响可以达到0.7 nm,而对副镜的影响可以忽略；应力所产生的光学元件面形变化会使系统的几何传递函数(5000 lp/mm)从0.76下降到0.61.