扫描探针刻蚀技术的机理分析及进展

• 作者: 姚汤伟 朱春耕 范真 蒋洪奎 钟俊坚
• 来源期刊: 新技术新工艺
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描探针 刻蚀加工 机理 进展
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 机械加工工艺与装备
• 页码范围: 86-88
• 页数: 3页
• 分类号: TH742.9
• 字数: 3790字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-5311.2006.01.026

摘要

文章综述了扫描探针刻蚀技术的最新研究进展,并介绍了扫描探针刻蚀加工机理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚汤伟		31	105	7.0	8.0
2	蒋洪奎	江苏大学机械学院微纳米技术研究中心	28	68	5.0	6.0
4	范真	江苏大学机械学院微纳米技术研究中心	61	532	11.0	20.0
5	朱春耕		18	49	5.0	6.0
6	钟俊坚		6	14	3.0	3.0