基于模态分析的静电驱动圆薄板宏模型建立方法

• 作者: 应济 林谢昭
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统(MEMS) 宏模型 模态分析方法 静电驱动
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 微纳设计
• 页码范围: 1368-1371
• 页数: 4页
• 分类号: TM3
• 字数: 2618字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.014

摘要

为了研究静电致动圆板静态和动态特性,在模态分析法的基础上,利用多维非线性函数的Levenberg-Marquardt拟合方法,将板的动能、弹性能和电容写成以模态坐标表示的解析式.结合Hamilton原理,导出静电致动微圆板的动力学特性方程的宏模型.以此为基础研究了板的静态特性及其三角波、方波信号激励下的动态响应.结果表明,模态分析方法能够考虑到残余应力的影响,所建立的动态宏模型不仅大大地减少了计算费用,而且具有足够的仿真精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	应济	浙江大学微系统研究与发展中心	41	442	11.0	19.0
2	林谢昭	浙江大学微系统研究与发展中心	21	372	6.0	19.0