压电陶瓷驱动器蠕变特性的研究

• 作者: 余晓芬 范伟
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 压电陶瓷驱动器 位移放大机构 蠕变特性曲线
• 年，卷（期）: 2006,（11）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 1383-1386
• 页数: 4页
• 分类号: TH7
• 字数: 2011字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.2006.11.005

摘要

压电陶瓷驱动器具有位移分辨率高、体积小、响应快、输出力大、不发热等优点,但其固有的迟滞、蠕变和非线性,严重影响了它的定位精度.在大行程微动工作台中,需要借助于位移放大机构来克服压电陶瓷驱动器位移行程小的缺点,但放大机构在放大位移的同时,也放大了压电陶瓷蠕变和迟滞误差的影响.本文通过对一种大行程压电陶瓷微动工作台蠕变特性的研究性实验,得到了该机构的蠕变特性曲线,找到了压电陶瓷驱动器蠕变的规律,为进一步修正和减少蠕变误差的影响、提高系统的定位精度,提供了科学的依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余晓芬	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	97	756	14.0	22.0
2	范伟	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	9	202	6.0	9.0