磁控溅射ZrSiN涂层对钛瓷结合强度的影响

• 作者: 宋忠孝 张惠 郭天文
• 来源期刊: 稀有金属材料与工程
• 学科: 医学
• 关键词: 扩散阻挡层 结合强度 钛瓷
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 材料工艺
• 页码范围: 593-595
• 页数: 3页
• 分类号: R783.4
• 字数: 2350字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-185X.2006.04.020

摘要

探讨采用射频磁共溅射氮硅锆(ZrSiN)涂层作为扩散阻挡层(钛与瓷间的中间层),增强钛/瓷结合强度的可行性.结果表明:ZrSiN是含纳米结晶相ZrN和非晶相SiNx的纳米复合扩散阻挡层.无ZrSiN扩散阻挡层的钛经热循环后表面明显氧化,有ZrSiN扩散阻挡层处理后的钛表面经热循环后没有氧化钛,只有锆、硅、氮和氧元素,表明ZrSiN扩散阻挡层可有效阻挡钛在瓷烧结温度下氧化.三点弯曲试验表明ZrSiN涂层还可提高钛瓷结合强度.高硅含量的ZrSiN涂层处理的钛瓷结合强度更高,这与非晶相SiNx增多有关.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张惠		85	635	14.0	21.0
2	郭天文		110	1101	17.0	28.0
3	宋忠孝	西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室	30	143	8.0	11.0