应力对硅悬空薄膜的机械灵敏度的影响

• 作者: 宋义超 徐晨 李博 沈光地 赵林林
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 薄膜 总应力 机械灵敏度 残余应力
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 微型压力传感器
• 页码范围: 1852-1854
• 页数: 3页
• 分类号: TP2
• 字数: 2394字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.144

摘要

运用四周固支薄板小挠度理论,分析了存在较大残余应力的浓硼重掺杂硅悬空薄膜的力学特性.给出了小挠度下,在外界载荷作用下总应力表达式和薄膜机械灵敏度表达式,并分析了残余应力对二者的影响.研究表明,对存在较大残余应力的硅薄膜,总应力和机械灵敏度主要由残余应力决定,其中机械灵敏度较忽略残余应力时的值减小三个数量级.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐晨	北京工业大学电子信息与控制工程学院北京市光电子技术实验室	63	295	9.0	13.0
2	沈光地	北京工业大学电子信息与控制工程学院北京市光电子技术实验室	192	1444	18.0	29.0
3	宋义超	北京工业大学电子信息与控制工程学院北京市光电子技术实验室	3	6	2.0	2.0
4	赵林林	北京工业大学电子信息与控制工程学院北京市光电子技术实验室	9	31	3.0	4.0
5	李博	北京工业大学电子信息与控制工程学院北京市光电子技术实验室	10	46	3.0	6.0