负偏压不稳定性的危害及防治

• 作者: 任佳栋 汪辉 陆峰
• 来源期刊: 电子与封装
• 学科: 工学
• 关键词: 集成电路 负偏压不稳定性 可靠性
• 年，卷（期）: 2007,（9）
• 所属期刊栏目: 微电子制造与可靠性
• 页码范围: 30-33
• 页数: 4页
• 分类号: TN705
• 字数: 3281字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1681-1070.2007.09.009

摘要

负偏压不稳定性(NBTI)已成为现代集成电路制造的巨大挑战.文章将讨论负偏压不稳定性对器件及电路的影响,并对影响负偏压不稳定性的集成电路制造步骤进行分析.最后,我们找到一些对现有工艺进行改进的方法来减小负偏压不稳定性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪辉	上海交通大学微电子学院	33	81	4.0	7.0