利用线性液膜的红外热像测定YBCO的湿法化学刻蚀启动时长

• 作者: 刘娟秀 刘霖 叶玉堂 吴云峰 方亮 陆佳佳
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜光学 红外热像 化学腐蚀 启动时长 钇钡铜氧
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 仪器、测量与计量
• 页码范围: 1039-1043
• 页数: 5页
• 分类号: TH741.4
• 字数: 2814字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-2239.2007.06.016

摘要

提出了一种测定YBCO(YBa2Cu3O7-x)高温超导薄膜湿法腐蚀启动时长的红外热像新方法.该方法的实质是利用YBCO腐蚀时必然有化学热吸收或释放,从而引起YBCO表面液膜温度变化这一特点,通过红外热像实时监测系统,采集液膜温度变化过程的红外热像,从而判断反应启动时长.理论分析和实验结果均表明,YBCO表面2 mm宽线性液膜是较为理想的监测对象,因其同时具备温度变化信息和空间分布信息,可以将线性液膜中心作为理想的观测特征点;由滑动腐蚀液滴形成残留线性液膜具有温度变化灵敏度高的特点,YBCO(衬底为LaAlO3)竖直放置,可以表面避免液膜重力对启动时长的影响,获得更为准确的监测数据.由线性液膜的横向剖面灰度变化得到在本实验条件下YBCO薄膜与体积比H3PO4∶H2O=1∶300腐蚀液的反应启动时长介于0.3～0.4 s之间.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴云峰	电子科技大学光电信息学院	106	653	13.0	18.0
2	叶玉堂	电子科技大学光电信息学院	170	1471	17.0	30.0
3	刘娟秀	电子科技大学电子工程学院微波中心	49	264	8.0	13.0
4	刘霖	电子科技大学光电信息学院	73	411	11.0	16.0
5	方亮	电子科技大学光电信息学院	17	144	7.0	11.0
6	陆佳佳	电子科技大学光电信息学院	9	78	5.0	8.0