液体中微悬臂传感器共振检测技术的研究

• 作者: 刘宁 左燕生 林云生 韩立
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微悬臂 正反馈 自激振荡 共振频率 Au
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 59-64
• 页数: 6页
• 分类号: TP212|TNL6
• 字数: 2933字
• 语种: 中文

摘要

讨论了微悬臂生化传感器在动态模式下的工作原理,针对在液体环境中阻尼增大、微悬臂共振品质因素下降的问题,设计了一个正反馈电路,使得微悬臂在液体中能够稳定在其固有频率上自激振荡.从而简便地测出微悬臂传感器在吸附分析物之后的频率变化.实验中将黄金Au溅射于微悬臂上,每次溅射的厚度为1nm,等效质量约为0.042 72 ng,溅射12次,测得去离子水中微悬臂的频率随溅射的Au质量的增加,约以-10.089 Hz/,pg的线性趋势下降,微悬臂对附加质量的检测分辨率提高了约200倍,达到1 pg.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩立	中国科学院电工研究所	98	376	9.0	13.0
2	刘宁	中国科学院电工研究所	96	760	15.0	23.0
3	林云生	中国科学院电工研究所	21	148	8.0	11.0
4	左燕生	中国科学院电工研究所	8	72	6.0	8.0