一种基于MEMS技术的PDMS微型分流器的研制

• 作者: 于军 李建军 杨承 黄成军
• 来源期刊: 分析科学学报
• 学科: 化学
• 关键词: 微流控 分流器 牺牲层技术 聚二甲基硅氧烷(PDMS)
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 仪器研制与实验技术
• 页码范围: 95-97
• 页数: 3页
• 分类号: O657
• 字数: 1557字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-6144.2007.01.027

摘要

本文采用三层光刻工艺制作了基于聚二甲基硅氧烷(Polydimethylsiloxane,PDMS)的V形微分流器.引入牺牲层技术,解决了不同胶层间的界面互融问题,讨论了不同胶层间显影液对图形质量的影响.所制得的分流器工艺简单,结构形貌良好,具有良好的微流控制作用,满足器件使用要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于军	华中科技大学电子科学与技术系	103	537	11.0	16.0
2	李建军	华中科技大学电子科学与技术系	235	1646	18.0	27.0
3	黄成军	华中科技大学电子科学与技术系	4	54	4.0	4.0
4	杨承	华中科技大学电子科学与技术系	2	12	2.0	2.0