数控多线切割技术及发展趋势

• 作者: 张义兵 戴瑜兴 汤睿 蒋近
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 多线切割 半导体加工 集成电路制造技术 数控机床 张力控制
• 年，卷（期）: 2007,（11）
• 所属期刊栏目: 本期专题(IC前沿制造技术)
• 页码范围: 1-4
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.1
• 字数: 3353字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2007.11.001

摘要

数控多线切割技术实现了集成电路制造技术的跨越式发展,已成为数控机床制造技术及集成电路制造技术的重要标志,引起了发达国家的广泛重视.论述了数控多线切割技术的特征;介绍了我国自行研制的XQ120和XQ300系列数控多线切割机床并与国外产品进行比较;指出了开发大型数控多线切割机床的技术难点;阐述了我国研发具有自主知识产权的大型数控多线切割机床设备的必要性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	戴瑜兴	湖南大学电气与信息工程学院	240	2348	23.0	36.0
2	汤睿	湖南大学电气与信息工程学院	6	58	4.0	6.0
3	张义兵	湖南大学电气与信息工程学院	15	310	8.0	15.0
4	蒋近	湖南大学电气与信息工程学院	11	171	8.0	11.0