准分子激光加工与研磨加工Al2O3陶瓷表面形貌的比较

• 作者: 余桂英 刘莹 李小兵 蔡升勇 郭纪林
• 来源期刊: 南昌大学学报（工科版）
• 学科: 工学
• 关键词: 表面形貌 准分子激光加工 研磨加工 Al2O3陶瓷
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 页码范围: 9-11,15
• 页数: 4页
• 分类号: TH117.1
• 字数: 1832字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-0456.2007.01.003

摘要

采用了准分子激光和研磨两种不同的加工方法,在微构件常用的Al2O3陶瓷材料表面构建表面微观形貌.通过表面轮廓仪测量加工试件表面形貌,采用自行研制的表面形貌参数表征系统进行表面形貌统计参数计算.分析不同加工方法对同一种材料表面形貌的影响,采用表面形貌统计参数中的轮廓高度算术平均值Ra、轮廓高度均方根值Rq、坡度均方根值Zq对表面形貌进行评价.结果表明,准分子激光加工表面的Ra、Rq和Zq值均比研磨加工表面小.分析可得,准分子激光加工与传统研磨加工方法相比,能够获得较高要求的表面形貌,为微机械的设计提供重要参考依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘莹	南昌大学机电工程学院	153	1424	18.0	30.0
2	李小兵	南昌大学机电工程学院	72	616	11.0	22.0
3	郭纪林	南昌大学机电工程学院	7	56	5.0	7.0
4	余桂英	南昌大学机电工程学院	15	200	6.0	14.0
5	蔡升勇	南昌大学机电工程学院	2	7	2.0	2.0