微构件力学性能测试技术进展

• 作者: 张段芹 褚金奎
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 力学性能 驱动 微位移检测 微力检测
• 年，卷（期）: 2007,（19）
• 所属期刊栏目: 学科发展
• 页码范围: 2383-2387
• 页数: 5页
• 分类号: TB93
• 字数: 5100字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132x.2007.19.027

摘要

阐述了微构件力学性能的研究现状与存在的力学性能参数表征问题,而后重点介绍了微构件力学性能测试中相关的驱动方式、微位移检测和微力检测技术.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张段芹	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	3	7	2.0	2.0
2	褚金奎	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	119	1260	20.0	30.0