MEMS、半导体和精密机械的超临界清洗技术

• 作者: 张传杰 李惠荣 胡大鹏 银建中
• 来源期刊: 清洗世界
• 学科: 地球科学
• 关键词: 超临界流体清洗 微电子 半导体 金属氧化物 复杂零件 清洗工艺
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 专题报告
• 页码范围: 34-41
• 页数: 8页
• 分类号: X505
• 字数: 5192字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-8909.2007.05.008

摘要

论述超临界流体清洗技术的研究现状和应用前景,结合现有的研究成果介绍超临界CO2清洗技术在微电子(MEMS)、半导体清洗、金属氧化物污染材料清洗、复杂零件清洗等方面的可行性和有效性,并对超临界CO2清洗工艺作了简要介绍.分析了当前清洗方法的问题和不足,指出了在这一领域今后进一步研究和开发急需解决的关键技术难题及可行性的解决方案.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李惠荣	大连理工大学化工学院	16	89	5.0	9.0
2	胡大鹏	大连理工大学化工学院	87	489	12.0	18.0
3	银建中	大连理工大学化工学院	112	1083	19.0	26.0
4	张传杰	大连理工大学化工学院	3	52	3.0	3.0