谐振式微加速度计杠杆机构的建模与优化

• 作者: 任杰 樊尚春 郭占社
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 交通运输
• 关键词: 微机械加速度计 微杠杆 建模 优化设计
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 传感器理论及工艺
• 页码范围: 17-19
• 页数: 3页
• 分类号: U666.12
• 字数: 1310字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.07.006

摘要

谐振式微机械加速度计的微尺寸质量块引起的惯性力很小,严重制约了加速度计灵敏度的提高,因此提出采用杠杆机构放大惯性力.由于硅基微杠杆机构的各部分均为刚性连接,且杠杆的输入、输出端有约束存在,制约了杠杆的自由转动,使惯性力不能高效放大.为此,设计了基于柔性支点的杠杆机构,建立了微杠杆机构的物理和数学模型,推导出杠杆机构各部分刚度的匹配原则.利用ISIGHT软件,采用遗传算法对结构参数进行了优化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	樊尚春	北京航空航天大学仪器学院	161	841	15.0	21.0
2	任杰	北京航空航天大学仪器学院	10	65	5.0	8.0
3	郭占社	北京航空航天大学仪器学院	29	89	5.0	8.0