全自动划片机的关键技术研究

• 作者: 王宏智 王明权
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 空气静压电主轴 晶圆传输定位 自动对准 自动清洗
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: IC制造设备
• 页码范围: 28-32,38
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.2
• 字数: 3817字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2007.02.009

摘要

根据微电子工业的发展现状,论述发展全自动划片机的必要性;从全自动划片机的工作机理出发,分析空气静压电主轴、晶圆传输定位、自动对准、自动清洗等全自动划片机的关键技术;依据分析结果提出相应的解决措施.