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摘要:
非相干紫外或真空紫外光源的应用已成为众多工业部门中一项基础性和关键性的技术.本文着重介绍了介质阻挡放电产生173 nm紫外光的原理,并设计制作了利用此方法获得173 nm真空紫外光的装置.试验结果表明,用石英玻璃作介质阻挡层,Xe气体作为放电气体,能够获得峰值波长为175 nm,半高宽为12 nm的窄带大面积真空紫外光,并对其输出光谱进行分析.
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文献信息
篇名 173 nm真空紫外光源的研制
来源期刊 真空科学与技术学报 学科 物理学
关键词 介质阻挡放电 紫外光源 单沟道放电
年,卷(期) 2007,(z1) 所属期刊栏目 技术交流
研究方向 页码范围 65-67
页数 3页 分类号 O434.2
字数 1872字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1672-7126.2007.z1.017
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 张劲涛 西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室 19 54 4.0 6.0
2 王文江 西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室 14 57 4.0 7.0
3 卜忍安 西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室 17 74 4.0 8.0
4 金晶 西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室 2 2 1.0 1.0
5 左丰国 西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室 2 2 1.0 1.0
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紫外光源
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