SR-FEL宽带腔镜与双带腔镜光学膜系实验研究与研制

• 作者: 王东蕾 王乃彦 王永 高怀林
• 来源期刊: 高能物理与核物理
• 学科: 物理学
• 关键词: 储存环自由电子激光 腔镜光学膜系 电子束蒸发沉积 离子束溅射沉积
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 同步辐射,自由电子激光,核技术应用等
• 页码范围: 405-408
• 页数: 4页
• 分类号: O57
• 字数: 4304字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3052.2007.04.017

摘要

利用"电子束蒸发沉积薄膜生长技术+离子束溅射沉积薄膜生长技术"、"HfO2/SiO2+Al2O3/SiO2+M-SiO2"复合光学膜系设计技术、400℃×4h高温处理技术,研制的SR-FEL宽带腔镜光学膜系在355nm中心波长的绝对光学反射率测量值为R(355nm)=99.45%,反射光谱带宽测量值为△λ(R≥99.00%)=75nm;研制的355nm/248nm双带腔镜光学膜系,在355nm中心波长,其绝对光学反射率测量值为R(355nm)=99.69%,反射光谱带宽测量值为△λ(R≥99.00%)=59nm;在248nm中心波长,R(248nm)=98.21%,绝对光学反射率光谱带宽测量值△λ(R≥99.00)=9mm,△λ(R≥98.00%)=33nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王永	中国科学院电子学研究所	221	1818	20.0	29.0
2	王乃彦		36	62	5.0	6.0
3	王东蕾	中国科学院电子学研究所	35	290	11.0	15.0
4	高怀林	中国科学院电子学研究所	4	8	2.0	2.0