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摘要:
提出了一种利用激光激发声表面波,通过气体吸附性薄膜对被测气体进行检测的传感原理.激光在覆有选择性气体吸附膜的铝块表面激发出声表面波,后者沿铝块表面传播.在吸附性薄膜与被测气体发生反应后,声表面波的强度被改变;然后利用PMT(光电倍增管),通过单芯光纤耦合的反射式光束偏转法探测由半导体激光器发出的探测光束,所检测的光强的变化反映了被检测气体的浓度,从而实现被测气体的浓度测量.
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文献信息
篇名 基于激光激发声表面波新型气体传感器的研究
来源期刊 光电工程 学科 工学
关键词 声表面波(SAW) 吸附性膜 气体传感器 光偏转法
年,卷(期) 2007,(4) 所属期刊栏目 光电器件与系统
研究方向 页码范围 132-135
页数 4页 分类号 TB57
字数 1948字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1003-501X.2007.04.029
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 刘光达 吉林大学仪器科学与电气工程学院 42 266 10.0 15.0
2 姜超 吉林大学仪器科学与电气工程学院 3 13 1.0 3.0
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研究主题发展历程
节点文献
声表面波(SAW)
吸附性膜
气体传感器
光偏转法
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光电工程
月刊
1003-501X
51-1346/O4
大16开
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1974
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