双向横向热执行器结构设计

• 作者: 单建华 孔德义 林丙涛 梅涛 汪小华 褚家如
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 横向热执行器 微机电系统 有限元
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 61-64
• 页数: 4页
• 分类号: TH703.8
• 字数: 2176字
• 语种: 中文

摘要

在传统非对称冷热梁结构横向热执行器的基础上,提出了一种能实现双向横向运动的热执行器.采用对称结构设计,主要由折叠柔性梁、直柔性梁、宽梁和连接梁构成,通过选择加热臂,可以控制结构的偏转方向,实现双向推挽运动.在典型尺寸下,仿真结果显示,在20 mW驱动作用下,产生的末端位移9.55 μm,驱动力9.4μN,其性能与单向横向执行器相当.同时还进行了结构优化分析.