焦斑可调的透镜阵列均匀辐照光学系统

• 作者: 于清旭 关寿华 卢永军 郑建洲
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 光学设计 焦斑可控系统 透镜阵列 均匀辐照 Zemax光学设计软件
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 实验技术与元件
• 页码范围: 331-336
• 页数: 6页
• 分类号: O439
• 字数: 3199字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2007.03.006

摘要

提出用两组透镜阵列与非球面透镜组成焦斑可调的均匀辐照光学系统,可实现靶面光斑尺寸在几微米到几毫米的范围内连续可调,并且能将圆形入射激光束变换为方形均匀焦斑,同时满足二维激光光束形状的改变和强度空间分布均匀化的要求.应用矩阵光学、衍射积分理论,详细分析了它的工作原理,给出了系统优化设计参数和详细的数值计算结果.模拟计算结果表明,当靶面离焦量为△z=2 mm时,x,y方向平顶区的不均匀度分别为ηx=4.6%,ηy=5.3%,能量利用率达到95.3%,基本上达到了设计要求.Zemax光学设计软件的仿真实验测试结果与理论分析结果吻合得很好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于清旭	大连理工大学物理与光电工程学院	59	689	16.0	23.0
2	郑建洲	大连理工大学物理与光电工程学院	25	152	6.0	11.0
4	关寿华	大连理工大学物理与光电工程学院	28	185	7.0	12.0
10	卢永军	大连民族学院理学院	3	35	3.0	3.0