溶胶-凝胶旋涂法制备ITO薄膜

• 作者: 张江 曲荣君 陈健 高善民
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 物理学
• 关键词: ITO薄膜 溶胶-凝胶法 制备 表征
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 纳米材料与结构
• 页码范围: 132-136
• 页数: 5页
• 分类号: O484.4
• 字数: 3215字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.03.006

摘要

以InCl3和SnCl4·5H2O为主要原料,采用溶胶-凝胶法和旋转涂膜工艺,在普通玻璃基片上制备掺锡氧化铟(ITO)纳米透明导电薄膜.应用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)对薄膜进行表征;研究了不同热处理温度、热处理时间及不同旋转速度对薄膜形态和结构的影响.结果表明,采用溶胶-凝胶旋涂法制备的ITO薄膜是由立方相纳米颗粒构成,随涂层增加,薄膜表面变得平滑.随热处理温度的提高或时间的延长,薄膜由非晶态逐渐转化为良好的晶态薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曲荣君	鲁东大学化学与材料科学学院	52	261	10.0	13.0
2	张江	鲁东大学化学与材料科学学院	23	162	6.0	12.0
3	陈健	鲁东大学化学与材料科学学院	4	36	4.0	4.0
4	高善民	鲁东大学化学与材料科学学院	24	239	7.0	15.0