基于MEMS的压电泵及其研究进展

• 作者: 何秀华 张睿 蒋权英
• 来源期刊: 排灌机械
• 学科: 工学
• 关键词: 压电泵 微电子机械系统 压电振子 单腔体 多腔体 压电晶体
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 综述与论坛
• 页码范围: 64-68
• 页数: 5页
• 分类号: TH38
• 字数: 4444字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-8530.2007.04.017

摘要

基于MEMS的压电泵是集驱动部件、工作部件和控制部件于一体的便于集成的微型泵,它采用压电晶体作为其驱动部件材料.根据其工作原理和结构的差异,压电泵主要分为压电薄膜泵和压电超声泵.介绍了压电泵的单腔体结构和多腔体结构,而多腔体结构的压电泵是今后研究的一个主要方向.由于压电泵具有尺寸小、结构简单、响应快等优点,在许多需要微流量控制的场合中具有广阔的应用前景.重点总结了压电泵国内外的最新研究现状,展望了压电泵的主要发展方向,提出了压电泵研究的主要问题,对压电泵的研究具有指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何秀华	江苏大学能源与动力工程学院	29	177	8.0	11.0
2	张睿	江苏大学能源与动力工程学院	12	82	6.0	9.0
3	蒋权英	江苏大学能源与动力工程学院	9	69	4.0	8.0