角分辨XPS测定极薄金膜的厚度和覆盖率

• 作者: 严洁 庞重军 林义民 王博 白明武
• 来源期刊: 材料科学与工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 材料检测与分析技术 薄膜厚度 覆盖率 ARXPS 金膜
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 349-352
• 页数: 4页
• 分类号: O411|TN304
• 字数: 3742字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-2812.2007.03.007

摘要

极薄薄膜的覆盖率有时难以用常规方法定量表征.本文提出了一套以单层薄膜的角分辨X射线光电子能谱(ARXPS)模型测定极薄薄膜的厚度h,以恰好不再能检测到基底信号的光电子出射角(TOA)为最小基底信号起飞角θmin,以最大裸露线宽L=h/tgθmin为直径的圆形裸露区模型估算薄膜覆盖率的新方法.将该方法应用于热蒸镀法在羟基化硅基底上制备的极薄的岛状金膜,当TOA＞17.5°时Au 4f的峰强变化与单层膜的ARXPS模型吻合得很好;当TOA＜7.5°时不再能检出基底信号;测得金膜的厚度为16.0±0.4?,金膜覆盖率为～92%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	庞重军	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	11	42	5.0	6.0
4	王博	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	70	344	10.0	17.0
5	严洁	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	2	15	1.0	2.0
12	白明武	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	2	10	1.0	2.0