利用CO2激光预处理提高熔石英基片的损伤阈值

• 作者: 叶琳 吕海兵 王海军 蒋晓东 袁晓东 赵松楠 郑万国 黄进
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 预处理 光栅式扫描 CO2激光 熔石英基片 损伤阈值
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 激光应用
• 页码范围: 723-727
• 页数: 5页
• 分类号: TN249
• 字数: 3081字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2007.05.024

摘要

为了提高熔石英基片对351 nm短波长激光的损伤阈值,采用光栅式扫描方式,利用CO2激光器输出10.6μm波长的激光,对氢氟酸蚀刻后的小口径熔石英基片表面进行功率周期递增的辐照扫描.结果表明,经过CO2激光预处理后的熔石英基片,表面微观形貌得到了有效改善;利用S:1的方法测量熔石英基片损伤阈值.结果发现,在中度激光抛光的程度下,其零概率损伤阈值提高了30%左右,且对透射波前没有造成不利影响,从而证明了CO2激光预处理提高熔石英基片抗激光损伤能力的有效性.