横向负载下三维微触觉传感器的力学模型

• 作者: 傅星 李源 栗大超 胡小唐 赵大博
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微结构尺寸测量 微机电系统 微触觉传感器 力学模型 横向负载
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 精密测量
• 页码范围: 6-10
• 页数: 5页
• 分类号: TB92
• 字数: 3171字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2007.01.002

摘要

提出了一种用于微结构几何量测量的MEMS三维微触觉式传感器在横向负载下的力学模型,用于指导传感器的设计和优化.对传感器的整体刚度、敏感梁的应力分布、检测灵敏度及线性灵敏度进行了计算.利用ANSYS有限元仿真方法模拟了传感器的应力分布,分布曲线与理论曲线的偏差小于3.87%,最大应力的仿真和理论偏差小于3.63%.通过一个已完成传感器的性能标定,灵敏度的实验和理论误差为7.79%,实验值线性误差为0.2%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李源	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	13	121	6.0	11.0
2	胡小唐	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	205	1913	21.0	33.0
3	栗大超	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	89	722	14.0	20.0
4	傅星	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	107	753	14.0	20.0
5	赵大博	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	5	39	5.0	5.0