CaF2晶体及加工技术研究

• 作者: 刘景和 段安锋 沈永宏 范翊
• 来源期刊: 长春理工大学学报(自然科学版)
• 学科: 物理学
• 关键词: CaF2晶体 切割 抛光 晶体加工
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 页码范围: 97-99
• 页数: 3页
• 分类号: O781
• 字数: 1847字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-9870.2007.02.028

摘要

随着深紫外准分子激光光刻技术的发展,所用CaF2光学晶体镜头材料的加工对传统的冷加工技术提出了挑战.本文结合CaF2晶体的基本性质,对其加工技术进行了极大的改进.通过控制合适的工艺参数,采用特殊的加工方法可以加工出高质量的caF2光学晶体.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘景和		134	714	13.0	18.0
2	范翊	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	12	53	5.0	6.0
3	段安锋	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	5	37	4.0	5.0
7	沈永宏	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	5	37	4.0	5.0