173 nm真空紫外光源的测试及分析

• 作者: 卜忍安 左丰国 张劲涛 薛少丽 金晶
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 介质阻挡放电 紫外辐照度 着火电压 pd值
• 年，卷（期）: 2007,（z1）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 62-64
• 页数: 3页
• 分类号: O434.2
• 字数: 1681字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2007.z1.016

摘要

通过自行设计的测量装置,用专用探测器对173 nm介质阻挡放电产生的紫外光进行辐照度的测试.对着火电压与pd值、紫外光源的辐照度之间的关系进行测量分析,并对试验中所用MgF2晶体的透过率进行测量和计算.实验结果表明:对于单个的紫外灯,当介质的厚度、气体气压均为常量的时候,介质阻挡放电强度随电压的增加而增加,放电强度呈非线性增加;在气体种类、介质材料的种类和厚度、电极材料的种类确定的情况下,紫外灯的点火电压与pd值会有一个最小值;在大气压下,通过特殊方法测得厚度为2 mm的MgF2晶体对173 nm真空紫外光的透过率为88%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张劲涛	西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室	19	54	4.0	6.0
2	卜忍安	西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室	17	74	4.0	8.0
3	金晶	西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室	2	2	1.0	1.0
4	薛少丽	西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室	3	24	2.0	3.0
5	左丰国	西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室	2	2	1.0	1.0