硅微机械二维倾角传感器结构设计

• 作者: 单建华 孔德义 林丙涛 梅涛 汪小华 褚家如
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 倾角传感器 压敏电阻 微机械 有限元
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 60-64
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 3178字
• 语种: 中文

摘要

提出了一种结构简单,制造工艺容易实现的硅微机械二维倾角传感器结构设计,它由蝶形质量块和连接它们的四个成十字形的硅应变梁以及具有过载限位保护功能的硼硅玻璃衬底构成.传感器能同时检测出绕两轴的倾角变化.分析了硅应变梁的受力情况,得到了与倾角的解析关系,并用有限元方法验证了结果,理论灵敏度为0.75 mV/ °.